Analisador de traços de umidade em gases ultra puros -por TDLAS – modelo ServoPro DF-745 NanoTrace

Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra purezaP, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio.

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Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra purezaP, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio.

A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 100 partes por trilhão (ppt), garantindo que as medições estáveis e altamente precisas do DF-750 atendam às necessidades de monitoramento preciso da produção de semicondutores.

O robusto DF-750 tem requisitos de manutenção de baixa vida útil e oferece estabilidade de desvio zero, estendendo muito os intervalos de calibração. Este baixo custo de propriedade combinado com desempenho de medição excepcional significa que o DF-750 é a solução analítica de primeira escolha para verificações de qualidade de gases ultra puros.

Características:

  • Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizavel (TDL) líder do segmento
  • Analises são resistentes a contaminação da célula de amostrage operando até 90% da perda de sinal
  • Limite de detecção de 10ppb
  • Range de operação de 0-20ppm
  • Operação via painel frontal, registro de
  • Manutenção simplificada e sem necessidade de consumíveis
  • Alta confiabilidade, repetibilidade não é afetada pela contaminação dos espelhos
  • Baixa frequência de manutenção devido ao uso de tecnologia TDL ultra estável
  • Ausência de desvio do Zero reduz a frequência de manutenção e calibração

Especificações Técnicas:

  • Gases Medidos: H2O
  • Tecnologia: Diodo Laser Sintonizavel (TDL)
  • Limite de detecção: 1ppt
  • Range: 0-20ppm/ 0-2ppb
  • Erro intriseco FS: ±3% da leitura/ ±2ppb (o que for maior)
  • Tempo de resposta T90: ≤3 minutos com vazão de 1 l/min
  • Desvio Zero/mês: desprezivel
  • Desvio Span/mês: desprezível
  • Minimo range recomendado: 0-2ppb
  • Tempo de recuperação: <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura
  • Saídas analogicas: 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuraveis)
  • Range: escalonáveis para qualquer range entre 0-100ppb a 0-10ppm
  • Alarmes sonoros e visuais: 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nivel de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, alanisador off-line e auto-range
  • Range escala dupla: 2 ranges da saídas analógicas configuraveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
  • Relê: até 4 reles configuraveis para alarme e indicação. 1A/30Vdc
  • Comunicação serial: Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
  • GSF: Conpensação de background para gases diferentes de N2
  • Flow Rate: 1 a 4 l/min
  • Vazão de bypass: 25 a 2.5l/min
  • Pressão: 30 a 150PSIg
  • Ponto de orvalho: +5°C abaixo da temperatura ambiente
  • Particulado: 2um
  • Condições da amostra: Sem oleo, não corrosiva e não condensada
  • Exaustão: para atmosfera. Máximo de pressão de saída é de -2PSIg a 2PSIg
  • Temperatura da amostra: +10˚C to +80˚C
  • Tempo de aquecimento: 5 minutos
  • Umidade relativa: 0-95% RH sem condensação
  • Altitude                   2000m máximo acima do nível do mar
  • Dimensões: 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
  • Peso: 8kg
  • Vacuo: ejetor de ¼” (conexão de compressão)
  • Montagem: rack 19”/ envolucro NEMA1
  • Tensão de alimentação: 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
  • Gás Zero: opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção
  • Gás Span: Não necessário 

Fabricante

Solução

Umidade

Modalidade

Processo

Segmento

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