Analisador de traços de umidade e oxigênio em gases ultrapuros por TDLAS – modelo DF-760 NanoTrace Ultra

Oferecendo uma solução compacta integrada para o monitoramento simultâneo de traços de umidade e traços de oxigênio, o DF-760 ULTRA é um analisador projetado para monitorar produção de gases ultra puros a granel usados na fabricação de placas de circuito integrado.

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Oferecendo uma solução compacta integrada para o monitoramento simultâneo de traços de umidade e traços de oxigênio, o DF-760 ULTRA é um analisador projetado para monitorar produção de gases ultra puros a granel usados na fabricação de placas de circuito integrado.

Combinando as propriedades do sensor Coulometrico não consumível da Servomex e da tecnologia robusta Tunable Diode Laser (TDL) em uma única unidade compacta, o DF-760 ULTRA mede níveis ultrabaixos de contaminantes de H2O e O2 em misturas de gases em nitrogênio (N2 ), hidrogênio (H2), hélio (He), O2 e argônio (Ar).

Características:

  • Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizavel (TDL) e sensor Coulometrico não consumível líderes do segmento
  • Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal
  • Limite de detecção de 55pptH2O/ 45pptO2
  • Range de operação de 0-20ppmH2O/0-20ppmO2
  • Único na indústria com ambas as medições simultâneas
  • Operação via painel frontal ou comunicação digital opcional
  • Manutenção simplificada e sem necessidade de consumíveis
  • Alta confiabilidade, repetibilidade não é afetada pela contaminação dos espelhos
  • Baixa frequência de manutenção devido ao uso de tecnologia TDL ultra estável
  • Ausência de desvio do Zero reduz a frequência de manutenção e calibração

Especificações Técnicas:

  • Gases Medidos: H2O e O2
  • Tecnologia: Diodo Laser Sintonizavel (TDL) e Sensor Coulometrico não consumível
  • Gás: H2O                                                               O2
  • Background: N2, H2, He, Ar and O2
  • Tecnologia: Diodo Laser Sintonizavel                        Coulometrico
  • Range: 0-20ppm – 0-2ppb minimo   0-20ppm – 0-1ppb minimo
  • Limite de detecção: 55ppt                                                             45ppt
  • Erro intriseco FS: ±3% da leitura/ ±2ppb                         ±3% da leitura/ ±0.1ppb ( o que for maior
  • Tempo de resposta T90: ≤3 minutos com vazão de 1 l/min       <15 segundos com vazão de 1l/min
  • Desvio Zero/mês: desprezivel
  • Minimo range: 0-2ppb                                                          0-1ppb
  • Tempo de recuperação: <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura estável
  • Saídas analogicas: 5 saídas analógicas disponíveis para O2 e H2O, 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuraveis)
  • Range: escalonáveis para qualquer range entre 0-2ppb a 0-20ppmH2O/ 0-1ppb a 0-20ppmO2
  • Alarmes sonoros e visuais: 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nivel de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, alanisador off-line e auto-range
  • Range escala dupla: 2 ranges da saídas analógicas configuraveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
  • Relê: 4 reles configuraveis para alarme e indicação de H2O e 2 reles configuraveis para alarme e indicação de O2. 1A/30Vdc
  • Comunicação serial: Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
  • GSF: Conpensação de background para gases diferentes de N2
  • Vazão :                                   2 a 5 l/min
  • Pressão: 30 a 150PSIg
  • Ponto de orvalho: +5°C abaixo da temperatura ambiente
  • Particulado: 2um
  • Condições da amostra: Sem oleo, não corrosiva e não condensada
  • Exaustão: para atmosfera
  • Temperatura amostra: +10˚C to +80˚C
  • Tempo de aquecimento: 5 minutos
  • Umidade relativa: 0-95% RH sem condensação
  • Altitude                   2000m máximo acima do nível do mar
  • Dimensões: 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
  • Peso: 8kg
  • Vacuo: ejetor de ¼” (conexão de compressão)
  • Montagem: rack 19”/ envolucro NEMA1
  • Tensão de alimentação: 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
  • Gás Zero: opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção

Fabricante

Solução

O2, Umidade

Modalidade

Processo

Segmento

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