Oferecendo uma solução compacta integrada para o monitoramento simultâneo de traços de umidade e traços de oxigênio, o DF-760 ULTRA é um analisador projetado para monitorar produção de gases ultra puros a granel usados na fabricação de placas de circuito integrado.
Combinando as propriedades do sensor Coulometrico não consumível da Servomex e da tecnologia robusta Tunable Diode Laser (TDL) em uma única unidade compacta, o DF-760 ULTRA mede níveis ultrabaixos de contaminantes de H2O e O2 em misturas de gases em nitrogênio (N2 ), hidrogênio (H2), hélio (He), O2 e argônio (Ar).
Características:
- Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizavel (TDL) e sensor Coulometrico não consumível líderes do segmento
- Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal
- Limite de detecção de 55pptH2O/ 45pptO2
- Range de operação de 0-20ppmH2O/0-20ppmO2
- Único na indústria com ambas as medições simultâneas
- Operação via painel frontal ou comunicação digital opcional
- Manutenção simplificada e sem necessidade de consumíveis
- Alta confiabilidade, repetibilidade não é afetada pela contaminação dos espelhos
- Baixa frequência de manutenção devido ao uso de tecnologia TDL ultra estável
- Ausência de desvio do Zero reduz a frequência de manutenção e calibração
Especificações Técnicas:
- Gases Medidos: H2O e O2
- Tecnologia: Diodo Laser Sintonizavel (TDL) e Sensor Coulometrico não consumível
- Gás: H2O O2
- Background: N2, H2, He, Ar and O2
- Tecnologia: Diodo Laser Sintonizavel Coulometrico
- Range: 0-20ppm – 0-2ppb minimo 0-20ppm – 0-1ppb minimo
- Limite de detecção: 55ppt 45ppt
- Erro intriseco FS: ±3% da leitura/ ±2ppb ±3% da leitura/ ±0.1ppb ( o que for maior
- Tempo de resposta T90: ≤3 minutos com vazão de 1 l/min <15 segundos com vazão de 1l/min
- Desvio Zero/mês: desprezivel
- Minimo range: 0-2ppb 0-1ppb
- Tempo de recuperação: <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura estável
- Saídas analogicas: 5 saídas analógicas disponíveis para O2 e H2O, 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuraveis)
- Range: escalonáveis para qualquer range entre 0-2ppb a 0-20ppmH2O/ 0-1ppb a 0-20ppmO2
- Alarmes sonoros e visuais: 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nivel de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, alanisador off-line e auto-range
- Range escala dupla: 2 ranges da saídas analógicas configuraveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
- Relê: 4 reles configuraveis para alarme e indicação de H2O e 2 reles configuraveis para alarme e indicação de O2. 1A/30Vdc
- Comunicação serial: Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
- GSF: Conpensação de background para gases diferentes de N2
- Vazão : 2 a 5 l/min
- Pressão: 30 a 150PSIg
- Ponto de orvalho: +5°C abaixo da temperatura ambiente
- Particulado: 2um
- Condições da amostra: Sem oleo, não corrosiva e não condensada
- Exaustão: para atmosfera
- Temperatura amostra: +10˚C to +80˚C
- Tempo de aquecimento: 5 minutos
- Umidade relativa: 0-95% RH sem condensação
- Altitude 2000m máximo acima do nível do mar
- Dimensões: 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
- Peso: 8kg
- Vacuo: ejetor de ¼” (conexão de compressão)
- Montagem: rack 19”/ envolucro NEMA1
- Tensão de alimentação: 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
- Gás Zero: opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção