Cromatógrafo para detecção de traços de contaminantes em gases especiais – modelo Servopro NanoChrome

SERVOPRO ChromaAnalisador de Gases, ultra-preciso, altamente versátil para analisar traços de componentes

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  • SERVOPRO ChromaAnalisador de Gases, ultra-preciso, altamente versátil para analisar traços de componentes
  • O analisador Chroma de traços é uma das soluções mais versáteis de monitoramento de gases presente no mercado. Utilizando um detector único de emissão de plasma, o Chroma possui uma estrutura principal e será customizada conforme a sua aplicação.
  • Oferecendo uma medição de traços de múltiplos componentes em níveis de ppb, o Chroma pode monitorar  H2, O2, N2, Ar, CH4, CO, CO2 e impurezas de NMHC em H2m O2, N2, Ar e He. Otimizado via um software operacional sofisticado e flexível, que oferece acesso a todos as funções do dispositivo por meio de um PC, o analisador NanoChrome é configurável para um grande range de aplicações complexas do segmento de produção de semicondutores.

Características:

  • Ideal para unidade de produção de semicondutores
  • Solução completa para medição de traços de H2, O2, N2, Ar, CH4, CO, CO2 e NMHC em níveis de ppb
  • Design compacto que cabe um único rack 4U ou 19”;
  • Opções de comunicação flexíveis, incluindo Ethernet e saída 4-20mA.
  • Interação com o dispositivo completa e monitoramento via software inteligente;
  • Configuração totalmente remota via Ethernet/Internet;
  • Portador eletrônico e sistema de controle PID de vazão de amostra;
  • Identificação de range por contato remoto por impureza.
  • Utiliza tecnologia de detecção PED ultra-sensívele altamente seletiva, entregando a melhor confiança e desempenho disponível no mercado;
  • PlasmaHcmede Metano e THC sem o uso de FID, eliminando a necessidade de manutenção e combustível. ArgonSep separa Ar de O2 sem a necessidade de scrubbers, fornecendo uma medição sensível, livre de manutenção.

Especificações Técnicas:

  • Gases Medidos: impurezas de H2, CH4, CO, CO2, N2, Ar and NMHC em gases ultra puros
  • Tecnologia: Plasma (PED)
  • Limite de detecção (depende da aplicação)
  • H2 5ppb
  • CO 5ppb
  • CH4 5ppb
  • CO2 5ppb
  • NMHC 5ppb
  • Ar 5ppb
  • N2 3ppb
  • Range: 0-250ppb
  • Erro intriseco FS: 2% da leitura ou do limite de detecção
  • Repetibilidade: 2% da leitura ou do limite de detecção
  • Sinais
  • Saídas analogicas: 1×4-20mA por pico – máximo de 8 saídas
  • Saídas digitais: 1x auto identificação de escala de auto range por pico – máximo de 8 saídas
  • 2x alarmes – conforme configuração
  • 1x condição de operação – falha do sistem
  • entrada digital: 1x entrada digital isolada – inicialização remota de analise
  • comunicação serial RS232 protocolo ASCII e Ethernet/internet
  • Opcionais
  • Diluidor Permite calibração utilizando padrões com 5ppm
  • Dimesões
  • Tamanho: 482mm x 177mm x 600mm (LxAxC)
  • Condições de operação
  • Temperatura: +5˚C to +40˚C (+41˚F to +104˚F)
  • Umidade relativa 0-95% RH sem condensação
  • Altitude 2000m máximo
  • Proteção IP20
  • Amostra
  • COndição Sem oleo, não corrosiva e não condensada
  • Vazão tipica 50 a 300ml/min (depende da aplicação)
  • Pressão tipica 30PSIG (depende da aplicação)
  • Gás de arraste
  • Especificação Hélio deve ser livre de Argônio (inferior a 1ppb)
  • Pressão de entrada Para background em O2 a pressão deve ser de 85PSIg, para as demais aplicação em 80PSIg
  • Vazão tipica 90 a 810ml/min
  • Utilidades
  • Tensão de alimentação: 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz

Unboxing the SERVOPRO NanoChrome from Servomex on Vimeo.

SERVOPRO NanoChrome – product video from Servomex on Vimeo.

Total UHP Solutions from Servomex on Vimeo.

Fabricante

Solução

Argônio, CH4, CO, CO₂, Cromatografia NMHC, H2, He, N2, O2

Modalidade

Processo

Segmento

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