Projetado especificamente para fazer medições de umidade de traços em uma variedade de gases de ultra pureza, o DF-750 é otimizado para fábricas de semicondutores de 300 mm. Ele mede a umidade como contaminante no nitrogênio, hidrogênio, hélio, argônio e oxigênio.
A tecnologia de detecção de Laser de Diodo Ajustável (TDL) oferece um limite inferior de detecção (LDL) de 55 partes por trilhão (ppt), garantindo que as medições estáveis e altamente precisas do DF-750 ULTRA atendam às necessidades de monitoramento preciso da produção de semicondutores.
O robusto DF-750 ULTRA tem requisitos de manutenção de baixa vida útil e oferece estabilidade de desvio zero, estendendo muito os intervalos de calibração. Este baixo custo de propriedade combinado com desempenho de medição excepcional significa que o DF-750 ULTRA é a solução analítica de primeira escolha para verificações de qualidade de gases ultra puros.
Características:
- Utiliza a tecnologia de alta estabilidade de Diodo Laser Sintonizável (TDL) líder do segmento
- Analises são resistentes a contaminação da célula de medição operando até 90% da perda de sinal
- Limite de detecção de 55ppt
- Range de operação de 0-20ppm
- Operação via painel frontal, registro de
- Manutenção simplificada e sem necessidade de consumíveis
- Alta confiabilidade, repetibilidade não é afetada pela contaminação dos espelhos
- Baixa frequência de manutenção devido ao uso de tecnologia TDL ultra estável
- Ausência de desvio do Zero reduz a frequência de manutenção e calibração
Especificações Técnicas:
- Gases Medidos: H2O
- Tecnologia: Diodo Laser Sintonizável (TDL)
- Limite de detecção: 55ppt
- Range: 0-20ppm/ 0-2ppb
- Erro intrínseco FS: ±3% da leitura/ ±2ppb (o que for maior)
- Tempo de resposta T90: ≤3 minutos com vazão de 1 l/min
- Desvio Zero/mês: desprezível
- Desvio Span/mês: desprezível
- Mínimo range recomendado: 0-2ppb
- Tempo de recuperação: <5 minutos para retornar para 100ppb sobre a ultima leitura
- Saídas analógicas: 1x 4-20mA isolada/ 0-1, 0-2, 0-5 ou 0-10Vdc (configuráveis)
- Range: escalonáveis para qualquer range entre 0-100ppb a 0-10ppm
- Alarmes sonoros e visuais: 5 alarmes disponíveis sendo 4 alarmes de nível de concentração, temperatura, diagnóstico do sensor, analisador off-line e auto-range
- Range escala dupla: 2 ranges da saídas analógicas configuráveis para quando o primeiro range de operação estiver saturado
- Relê: até 4 reles configuráveis para alarme e indicação. 1A/30Vdc
- Comunicação serial: Configurado de fabrica para RS-232 ou RS-485
- GSF: Compensação de background para gases diferentes de N2
- Flow Rate: 1 a 4 l/min
- Vazão de bypass: 25 a 2.5l/min
- Pressão: 30 a 150PSIg
- Ponto de orvalho: +5°C abaixo da temperatura ambiente
- Particulado: 2um
- Condições da amostra: Sem óleo, não corrosiva e não condensada
- Exaustão: para atmosfera. Máximo de pressão de saída é de -2PSIg a 2PSIg
- Temperatura da amostra: +10˚C to +80˚C
- Tempo de aquecimento: 5 minutos
- Umidade relativa: 0-95% RH sem condensação
- Altitude: 2000m máximo acima do nível do mar
- Dimensões: 483mm x 266mm x 608mm (LxAxC)
- Peso: 8kg
- Vácuo: ejetor de ¼” (conexão de compressão)
- Montagem: rack 19”/ involucro NEMA1
- Tensão de alimentação: 100-120Vac ou 220-240Vac, 50/60Hz
- Gás Zero: opcional – recomendado somente se operar próximo do limite de detecção
- Gás Span: Não necessário
